ディフューザーポンプとは？用語の意味を分かりやすく解説｜建築建設メディアのツクノビ

ディフューザポンプとは、高真空ポンプの一種で、拡散ポンプとも呼ばれます。
主に成膜、走査型電子顕微鏡、質量分析器、ランプの真空排気などに使用されます。

このポンプは、加熱した作動液（油）の蒸気を利用してチャンバー内の気体分子を吸引し、真空度を向上させます。
駆動部がないため故障が少ないが、適切な冷却水供給と油の酸化防止が重要です。

作動中には油を酸化させないよう加熱状態で大気に開放しないことが注意点となります。